SAT(Scanning Acoustic Microscope)即超声波扫描显微镜,是利用超声波的反射和传输特性来检测材料内部的一种无损检测技术。它可以在固体或液体材料中自由传播,在材料界面、内部缺陷或材料变化的地方发生反射,对材料没有破坏性。SAT有脉冲回波成像和透射成像两种工作模式。应用场景包括电子元件检测、半导体失效分析、真伪辨别等。
A扫描模式,波形分析单点反射信号
A扫描模式是对单一检测点的波形进行分析。它发出超声脉冲保持在样品的一点上,从这点上的反射波获取信息。A扫描是构成后续几种扫描模式的基础。
B扫描模式,二维垂直剖面成像
B扫描模式通过在X轴上进行机械扫描,Z轴逐步递进,从不同深度获取反射波信息,得到样品的二维垂直剖面图像。它可以用于判断样品内部结构、缺陷深度等。
C扫描模式,二维水平剖面成像
C扫描是最常用的模式。它在一个聚焦深度上,通过X轴机械扫描,Y轴逐步递进,得到样品的二维水平剖面图像。可清晰显示内部界面异常、裂纹、空洞等。
T扫描模式,利用透射波进行成像
T扫描是透射扫描方式。发射的超声脉冲从样品一侧传输进入,通过样品后在另一侧接收。它可以一次扫描样品所有界面,对比C扫描结果验证。
SAT作为一种无损检测技术,可实现材料内部的高分辨成像。它在半导体和电子行业中的检测与分析应用广泛,可用于质量控制、失效分析、真伪辨别等领域,检测出材料内部的结构与缺陷, Important role.
